Ultraschallscanner mit High Speed Autofokus Z-Achse

Autofokus:

Über Ultraschall-Laufzeiten wird der
Abstand zu einer Probe ermittelt.

• Auflösung der Zeitmessung: bis zu 22ps
• Repetitionsrate der Zeitmessung: 1 – 80 kHz

Z-Achse:

Ultraschall-Transducer wird auf konstanten
Abstand zu einer gewölbten Probe geregelt.

• Stell-Weg: 2.7mm
• Positionier-Genauigkeit:
  • Statisch:   <1µm
  • Dynamisch: <6µm

 

Die Bearbeitung des Projekts erfolgte in Kooperation mit der Firma PVA-TePla, Westhausen.